发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING LAMINATED WAFER
摘要
申请公布号 EP2325868(A4) 申请公布日期 2011.09.28
申请号 EP20090814212 申请日期 2009.08.04
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 发明人 KOBAYASHI, NORIHIRO;AGA, HIROJI;ISHIZUKA, TOHRU
分类号 H01L21/02;H01L21/762;H01L27/12 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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