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发明名称 HAND DEVICE AND MULTI-HAND DEVICE FOR WAFER TRANSPORTATION
摘要
申请公布号 KR20110105635(A) 申请公布日期 2011.09.27
申请号 KR20100024880 申请日期 2010.03.19
申请人 SEOUL NATIONAL UNIVERSITY OF TECHNOLOGY CENTER FOR INDUSTRY COLLABORATION 发明人 KO, HYUN JUN;KIM, JONG HYEONG
分类号 H01L21/677;B25J15/06;B65G49/07 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
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