一种自动光学检测系统

摘要

本实用新型公开了一种自动光学检测系统，以提高对基板进行检测的准确性和有效性。自动光学检测系统，包括自动光学检测设备、用于支撑所述自动光学检测设备的龙门架和用于放置基板的基台，还包括：气帘，设置在所述龙门架上，用于在所述自动光学检测设备对所述基板进行检测前，分离和/或活化吸附在基板上的浮游性异物，所述基板放置在所述基台上。采用本实用新型实施例提供的自动光学检测系统，由于在自动光学检测设备对基板进行检测之前通过气帘将基板表面的浮游性异物去除，从而降低了浮游性异物对自动光学检测设备对基板进行检测的影响，从而提高了自动光学检测设备对基板进行检测的准确性和有效性。

主权项

一种自动光学检测系统，包括自动光学检测设备、用于支撑所述自动光学检测设备的龙门架和用于放置基板的基台，其特征在于，还包括：气帘，设置在所述龙门架上，用于在所述自动光学检测设备对所述基板进行检测前，分离和/或活化吸附在基板上的浮游性异物。