发明名称 PIEZOELECTRIC MODAL ACTUATOR.
摘要
申请公布号 NL2004395(C) 申请公布日期 2011.09.16
申请号 NL20102004395 申请日期 2010.03.15
申请人 TECHNISCHE UNIVERSITEIT DELFT 发明人 SCHITTER GEORG;HULZEN JAN
分类号 G01Q10/06;H01L41/04;H01L41/083;H01L41/09 主分类号 G01Q10/06
代理机构 代理人
主权项
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