Probenuntersuchung mittels Terahertz-Spektroskopie

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Materialuntersuchung einer Probe (3) mittels Terahertz-Spektroskopie zur Identifikation von Materialunregelmäßigkeiten der Probe (3) mit den folgenden Schritten: (a) es werden mittels einer Terahertzwellen-Sendeeinrichtung (5, 8) elektromagnetische Wellen (6, 9) mit einer Frequenz im Terahertz-Bereich auf die zu untersuchende Probe (3) gesendet, (b) es werden mittels einer Terahertzwellen-Empfangseinrichtung (1, 8) elektromagnetische Wellen (7, 9) im Terahertz-Bereich von der Probe (3) aufgenommen, (c) die aufgenommenen Wellen (7, 9) werden von der Terahertzwellen-Empfangseinrichtung (1, 8) als Zeitbereichsignal oder als Frequenzbereichssignal einer Auswerteeinrichtung (10) zugeführt, (d) soweit ein der Auswerteeinrichtung (10) zugeführtes Signal ein Zeitbereichssignal ist, wandelt die Auswerteeinrichtung (10) das Zeitbereichssignal durch eine erste Spektral-Transformation in ein Frequenzbereichssignal (H), (e) die Auswerteeinrichtung (10) wandelt das Frequenzbereichssignal (H) mittels einer zweiten Spektral-Transformation in eine Ausgabefunktion (Q(x)), durch die ermittelte Anomaliewerte (Q) entsprechenden optischen Tiefenwerten (x) der Probe zugeordnet sind, (f) die Auswerteeinrichtung (10) stellt die Ausgabefunktion (Q(x)) als Anomaliewerte (Q) in Bezug zu optischen Tiefenwerten (x) auf einem Anzeigegerät dar und/oder bestimmt aus der Ausgabefunktion (Q(x)) nach wenigstens einem vorgegebenen Vergleichskriterium automatisch wenigstens eine Materialunregelmäßigkeit (12) der Probe (3).