具有起动准备功能的激光装置以及激光装置的起动方法

摘要

一种激光装置以及激光装置的起动方法，该激光装置具有在从低温环境或者高温环境起动激光振荡器的情况下，在使用激光前的准备阶段中使各部的温度接近热平衡状态，能够高效判断准备结束状态的功能。在满足规定基准前重复如下操作：仅在从时刻T1到T2的时间Ta进行激光振荡试行，在经过时间Tb的激光不振荡状态后，从时刻T3到T4进行第二次激光振荡试行。记录各次的激光振荡试行的最后瞬间的激光输出P2、P4、P6...。求取连续两次的激光振荡试行的激光输出的差，如果该差达到规定的基准值以下则可以判断出准备结束。

主权项

一种激光装置(10)，具有：激光振荡器(18)；向该激光振荡器(18)供给电力的激光电源(22)；测定激光输出的激光输出测定器(40)；吸收激光的光束吸收装置(44)；和接收激光输出指令，控制所述激光振荡器(18)、所述激光电源(22)、所述激光输出测定器(40)以及所述光束吸收装置(44)的控制装置(24)，所述激光装置(10)的特征在于，所述控制装置(24)包含：试行实施部(26)，其在从所述激光振荡器(18)起动时起、直到进入激光使用适宜状态的准备过程中，进行在规定时间期间使所述激光振荡器(18)成为激光振荡状态，在通过所述光束吸收装置(44)吸收振荡产生的激光(38)中的至少一部分的状态下，通过所述激光输出测定器(40)测定激光振荡状态下的激光输出的激光振荡试行；判断部(28)，其关于在通过所述试行实施部(26)进行的激光振荡试行中通过所述激光输出测定器(40)测定的激光输出，判断连续两次的激光振荡试行中的激光输出值的差是否达到规定值以下；以及反复起动部(30)，其在所述判断部(28)判断出连续两次的激光振荡试行中的激光输出值的差达到规定值以下前，自动地交替重复通过所述试行实施部(26)进行的激光振荡试行和激光不振荡状态。