去除全氟碳化物气体的系统和方法

摘要

去除全氟碳化物气体的系统，在待处理气体输入口处设置流量控制器(或阀门)，通过管路连接到内部通过微波产生等离子体的反应管，在等离子体后部设置催化剂床层，处理后的气体通过湿式吸收装置吸收氟化氢气体。去除全氟碳化物气体的方法，是待处理气体经流量控制器(或阀门)入反应管，微波功率200-2000W，气体流速0.5-40L/min，四氟化碳浓度1-10000mL/m3，反应管中采用微波点火，对混合气体进行连续处理；处理后经过填充在反应管末端的催化剂床层，床温度600-900K。用湿式吸收法吸收处理后排放，湿式吸收液采用饱和Ca(OH)2溶液，温度为常温35℃以下。本发明具有脱除效率高，能耗低的特点。

主权项

去除全氟碳化物气体的方法，包括以下步骤：a)将待处理气体经流量控制器(2)通入反应管(3)中，微波功率为200‑2000W，气体流速为0.5‑40L/min，四氟化碳浓度在1‑10000mL/m3的范围内，在反应管中采用微波点火，产生微波等离子体，对混合气体进行连续处理；b)经步骤a)处理后的气体经过填充在反应管末端的催化剂床层(5)进一步处理；床温度在600‑900K；c)处理后的气体采用湿式吸收法吸收处理后排放，湿式吸收液采用饱和Ca(OH)2溶液，温度为35℃以下；所述的去除全氟碳化物气体的方法所使用的去除全氟碳化物气体的系统主要包括以下装置：在待处理气体输入口(1)处设置有一流量控制器(2)，流量控制器(2)通过管路连接到反应管(3)，在反应管(3)的内部通过微波产生等离子体(4)，按照气体流入的方向在等离子体后部设置有催化剂床层(5)，所述的等离子体(4)由微波发生器(8)通过波导管(7)提供能量，波导管(7)和反应管(3)采用中心点直接耦合方式，由于是流动中的气体被电离产生等离子体，等离子体为等离子体炬形，气流经等离子体(4)处理后，再经过催化剂床层(5)反应，处理后的气体通过湿式吸收装置(6)吸收氟化氢气体，最后排入大气。