| 摘要 |
<p>Mit der vorliegenden Erfindung wird ein mikromechanischer Sensor bzw. ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Sensors beschrieben, der wenigstens eine Zustandsgröße einer Substanz erfasst. Dabei ist vorgesehen, dass der Sensor wenigstens einen ersten Bereich zur Aufnahme der Substanz aufweist, sowie einen Zugangskanal, durch den ein Austausch der Substanz zwischen dem ersten und einem zweiten Bereich ermöglicht wird. Der Kern der Erfindung besteht nun darin, dass nach der Erzeugung des Zugangskanals durch einen Ätz- oder Prägeprozess die Wand des Zugahgskanals eine weitere Behandlung erfährt. Bei dieser zusätzlichen Behandlung wird auf die Wand eine Oberflächenstrukturierung aufgebracht, die durch die Art der Behandlung oder durch die bei der Behandlung eingesetzten Materialien gestaltbar bzw. vorgebbar ist.
</p> |
