氟化氢铵回收切割废砂浆中碳化硅的方法

摘要

本发明公开了一种利用氟化氢铵从单晶硅和多晶硅棒切割或硅晶片加工过程中产生的废砂浆中回收碳化硅的工艺方法，包括利用氟化氢铵溶解预处理后的废砂浆中的硅，加水溶解使其形成溶液，过滤得到我们的主要目的产品碳化硅。再对生成的氟硅酸铵溶液进行低温结晶，过滤获得得氟硅酸铵产品。结晶后的水溶液再用来溶解氟硅酸铵，重复使用。在整个过程中各个组分都得到了合理的利用，没有污水外排，没有造成二次污染，满足绿色化工过程的要求。本发明反应速率比较快，工艺条件比较温和，设备投资低，操作简单，易于工业化，具有明显的经济效益和社会效益。

主权项

氟化氢铵回收切割废砂浆中碳化硅的方法，其特征包括下述步骤：a.废砂浆进行预处理；b.将步骤a所得固体砂料(硅和碳化硅)中加入固体，搅拌混均，加水分散溶解固体氟化氢铵，使氟化氢铵与硅进行反应，生成氟硅酸铵，反应后的固体料加水溶解氟硅酸铵，过滤和洗涤得到固体碳化硅，干燥得碳化硅产品；c.将步骤b所得过滤后的氟硅酸铵液体和洗涤液加入大颗粒高纯硅体促使与未反应完全的氟化氢铵反应，加热浓缩到接近饱和浓度后，底部的硅颗粒重复使用，溶液与进入溶解氟硅酸铵的液体换热降温，再冷却至室温或更低温度，结晶出白色氟硅酸铵，过滤，得固体氟硅酸铵，干燥得产品。d.将步骤c过滤所得液体与浓缩后的氟硅酸铵液体换热升温后，加热到浓缩温度附近，返回步骤b中分散溶解氟化氢铵和溶解氟硅酸铵。