发明名称 感光树脂组合物及包含该组合物的乾膜光阻
摘要
申请公布号 申请公布日期 2011.08.21
申请号 TW093112948 申请日期 2004.05.07
申请人 東進世美肯股份有限公司 南韓 发明人 金奉玘□ 南韩;朴圣模 南韩;朴赞硕 南韩
分类号 G03F7/004 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人 蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼
主权项 一种制备由以下化学式1所代表的丙烯酸酯树脂之方法,包含下列步骤:在40至80℃下,于溶剂中共聚合以下成分4至10小时:a)20至50重量%的一或多种不饱和羧酸,其选自由丙烯酸、甲基丙烯酸、分解乌头酸(itaconic acid)、顺-丁烯二酸、反-丁烯二酸、乙烯基乙酸(vinylacetic acid)及其酸酐所组成之群组,b)15至45重量%的芳香族单体,c)1至15重量%的含有磷酸酯之单体,以及d)10至30重量%的丙烯基单体;@sIMGTIF!d10003.TIF@eIMG!其中,R1是氢、具有芳香基或羟基的C1至C6烷基;R2是氢或甲基;R3是五乙二醇(pentaethylene glycol)、五丙二醇(pentapropylene glycol)或六乙二醇(hexaethylene glycol);n是介于8至40之一整数;且m是介于1至4之一整数。如申请专利范围第1项所述之方法,其中该芳香族单体为选自由苯乙烯、甲基丙烯酸苯甲酯、丙烯酸苯甲酯、丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸苯酯、2-硝基苯基丙烯酸酯(2-nitrophenyl acrylate)、4-硝基苯基丙烯酸酯、2-硝基苯基甲基丙烯酸酯(2-nitrophenyl methacrylate)、4-硝基苯基甲基丙烯酸酯、2-硝基苯甲基甲基丙烯酸酯(2-nitrobenzyl methacrylate)、4-硝基苯甲基甲基丙烯酸酯、2-氯苯基丙烯酸酯(2-chlorophenyl acrylate)、4-氯苯基丙烯酸酯、2-氯苯基甲基丙烯酸酯(2-chlorophenyl methacrylate)以及4-氯苯基甲基丙烯酸酯所组成之群组中的一或多种化合物。如申请专利范围第1项所述之方法,其中该含有磷酸酯的单体为选自由五乙二醇单甲基丙烯酸酯、五丙二醇单甲基丙烯酸酯以及六乙二醇单甲基丙烯酸酯所组成之群组中的一或多种化合物。如申请专利范围第1项所述之方法,其中该丙烯基单体为选自由2-羟乙基(甲基)丙烯酸酯(2-hydroxyethyl(meth)acrylate)、2-羟辛基(甲基)丙烯酸酯(2-hydroxyoctyl(meth)acrylate)、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯以及i>n/i>-丁基丙烯酸酯(i>n/i>-butyl acrylate)所组成之群组中的一或多种化合物。如申请专利范围第1项所述之方法,其中该溶剂为选自由四氢呋喃(tetrahydrofuran)、二恶烷(dioxane)、二甲胺基甲醛(dimethylaminoformaldehyde)、甲乙酮、卡必醇(carbitol)以及γ-丁内酯(γ-butyrolactone)所组成之群组中的一或多种化合物。一种硷可溶的光敏树脂组合物,包含:a)30至60重量%的丙烯酸酯树脂,由以下化学式1所代表;b)5至30重量%的具有至少两个乙烯双键之一交联单体,选自由1,4-丁二醇双丙烯酸酯(1,4-butanediol diacrylate)、1,3-丁二醇双丙烯酸酯(1,3-butylene glycol diacrylate)、乙二醇双丙烯酸酯(ethylene glycol diacrylate)、季戊四醇四丙烯酸酯(pentaerythritol tetraacrylate)、三乙二醇双丙烯酸酯(triethylene glycol diacrylate)、聚乙二醇双丙烯酸酯(polyethylene glycol diacrylate)、二季戊四醇双丙烯酸酯(dipentaerythritol diacrylate)、山梨醇三丙烯酸酯(sorbitol triacrylate)、双酚A二丙烯酸酯(bisphenol A diacrylate)衍生物、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯(trimethylopropane triacrylate)、二季戊四醇聚丙烯酸酯(dipentaerythritol polyacrylate)及其甲基丙烯酸酯所组成之群组中的一或多种化合物;c)0.5至10重量%的光可聚合起始剂;d)0.5至3重量%的染料及着色剂;e)0.2%至1重量%的添加剂;以及f)一溶剂,使整体光敏树脂组合物的内容物达100重量%;@sIMGTIF!d10004.TIF@eIMG!其中,R1是氢、具有芳香基或羟基的C1至C6烷基;R2是氢或甲基;R3是五乙二醇、五丙二醇或六乙二醇;n是介于8至40之一整数;且m是介于1至4之一整数。如申请专利范围第6项所述之硷可溶的光敏树脂组合物,其中以化学式1表示之该丙烯酸酯树脂的分子量介于20,000至100,000间。如申请专利范围第6项所述之硷可溶的光敏树脂组合物,其中该光可聚合起始剂为选自由2,4-双三氯甲基6-对-甲氧苯乙烯基-i>s/i>-三@sIMGCHAR!d10009.TIF@eIMG!(2,4-bistrichloromethyl-6-i>p/i>-methoxystyryl-i>s/i>-triazine)、2-对-甲氧苯乙烯基-4,6-双三氯甲基-s-三@sIMGCHAR!d10010.TIF@eIMG!(2-i>p/i>-methoxystyryl-4,6-bistrichloromethyl-i>s/i>-triazine)、2,4-三氯甲基-6-三@sIMGCHAR!d10011.TIF@eIMG!(2,4-trichloromethyl-6-triazine)、2,4-三氯甲基-4-甲基萘基-6-三@sIMGCHAR!d10012.TIF@eIMG!(2,4-trichloromethyl-4-methylnaphtyl-6-triazine)、二苯甲酮(benzophenone)、对-(二乙胺基)二苯甲酮(i>p/i>-(diethylamino)benzophenone)、2,2-二氯-4-苯氧基苯乙酮(2,2-dichloro-4-phenoxyacetophenone)、2,2’-二乙氧基苯乙酮(2,2’-diethoxyacetophenone)、2,2’-二丁氧基苯乙酮(2,2’-dibutoxyacetophenone)、2-羟基-2-甲基苯丙酮(2-hydroxy-2-methylpropiophenone)、对-第三丁基三氯苯乙酮(i>p/i>-i>t/i>-butyltrichloroacetophenone)、2-甲基硫氧杂蒽酮(2-methylthioxanthone)、2-异丁基硫氧杂蒽酮(2-isobutylthioxanthone)、2-十二基硫氧杂蒽酮(2-dodecylthioxanthone)、2,4-二甲基硫氧杂蒽酮(2,4-dimethylthioxanthone)、2,4-二乙基硫氧杂蒽酮(2,4-diethylthioxanthone)以及2,2’-双-2-氯苯基-4,5,4’,5’-四苯基-2’-1,2’-二咪唑(2,2'-bis-2-chlorophenyl-4,5,4’,5’-tetraphenyl-2’-1,2’-biimidazole)所组成之群组中的一或多种化合物。如申请专利范围第6项所述之硷可溶的光敏树脂组合物,其中该染料及着色剂为选自由隐色结晶紫(leuco crystal violet)、三溴甲基苯碸(tribromomethylphenylsulfone)、钻石绿GH(diamond green GH)、若丹明B(rhodamine B)、金胺盐基(auramine base)、对美塔(paramagenta)、甲基橘、甲基蓝、结晶紫、乙基紫、钛化青绿(phthalocyanine green)、基本染料曼席克蓝20(basic dye man chic blue 20)及夜晚绿B(night green B)所组成之群组中的一或多种化合物。如申请专利范围第6项所述之硷可溶的光敏树脂组合物,其中该添加剂为选自由氟系化合物以及矽系化合物所组成之群组中的一或多种化合物。如申请专利范围第6项所述之硷可溶的光敏树脂组合物,其中该溶剂为选自由乙二醇单甲醚醋酸酯(ethylene glycol monomethyl ether acetate)、丙二醇单甲醚、丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇单乙醚醋酸酯、二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲乙醚、环己酮、乙基-3-甲氧丙酸酯、甲基-3-乙氧丙酸酯、乙基-3-乙氧丙酸酯、甲乙酮、异丙醇、乙醇及甲醇所组成之群组中的一或多种化合物。一种乾膜光阻,其系以如申请专利范围第6项所述之硷可溶的光敏树脂组合物所制备而成。
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