半导体硅集成制造工艺中硅片目检照明用的强光灯

摘要

半导体硅集成制造工艺中硅片目检照明用的强光灯，包括光源(2)、轴流风扇(1)、凸透镜、遮光筒(7)和外壳(3)，轴流风扇和遮光筒分别设置在外壳的两端，光源和凸透镜位于外壳的内部，光源通过第一支架(8)固定，凸透镜通过第二支架与光源间隔设置，以通过凸透镜将光源发射的光线转换成平行光线。本实用新型采用能够形成显色性良好的平行且无光斑的光线，从而保证了硅片目检的质量。并且，本实用新型采用轴流风扇对光源进行散热，轴流风扇产生的风向不是吹向硅片而是从灯具的后部吹出，这种结构充分保证了强光灯的散热，提高了强光灯使用的可靠性，降低了强光灯的故障率，并且避免了硅片可能会被微粒或气体污染。

主权项

半导体硅集成制造工艺中硅片目检照明用的强光灯，包括光源(2)，其特征是，该强光灯还包括轴流风扇(1)、凸透镜、遮光筒(7)以及两端开口的外壳(3)，其中，所述轴流风扇(1)和遮光筒(7)分别设置在所述外壳(3)的两端，所述光源(2)和凸透镜位于所述外壳的内部，所述光源(2)通过第一支架(8)固定，所述凸透镜通过第二支架(9)沿所述光源(2)的光线方向与该光源(2)间隔设置，以通过该凸透镜将所述光源(2)发射的光线转换成平行光线，所述光源(2)能够通过电线(10)经由降压变压器连接于外部电源，所述轴流风扇(1)的吹风方向与所述光源(2)的光线方向相反。