晶圆盒连动定位装置

摘要

本实用新型一种晶圆盒连动定位装置，其包括有：一晶圆盒、一定位垫及一固定座；其中，所述晶圆盒具有一外盖及一底座；所述定位垫一面枢设至少一定位轴，各定位轴上设至少一定位块，各定位块为多边形片体；所述固定座设一组支撑杆，各支撑杆一端设于所述晶圆盒的底座上，所述定位垫的定位轴二端并枢接于二支撑杆上；如此，通过定位块的数个定位边缘的定位作用，使所述定位垫在上、下移动时，可上、下定位于适当位置上，不会过度的上、下移动，而能避免其卡在外盖上及避免卡在晶圆边缘上。

主权项

一种晶圆盒连动定位装置，其包括有：一晶圆盒、一定位垫及一固定座；其中，所述晶圆盒具有一外盖及一底座；而所述定位垫一面枢设有至少一定位轴，另一面设有一接触部；其特征在于：各定位轴上设有至少一定位块，各定位块为多边形片体，形成数个定位边缘；所述固定座设有一组支撑杆，各支撑杆一端设于所述晶圆盒的底座上，所述定位垫的定位轴二端枢接于二支撑杆之间。