流量式精准自动补液装置

摘要

一种流量式精准自动补液装置，它包括储液罐、机械补液泵、恒压罐、上报警传感器、上液位传感器、下液位传感器、下报警传感器、电磁换向阀、手动补液阀、手动定标阀、量杯、清洗槽和控制系统，机械补液泵设置在恒压罐和储液罐之间，上报警传感器、上液位传感器、下液位传感器和下报警传感器依次从上到下设置在恒压罐的侧壁上，且都与控制系统电连接，补液管经电磁换向阀分出二条支路，一路经手动补液阀通入清洗槽，另一路经手动定标阀通向量杯。它能测定补的流量然后按工艺要求确定补液时间，及时准确地对清洗槽进行补液，使清洗槽中的溶液浓度保持稳定，从根本上保证硅片清洗质量。

主权项

一种流量式精准自动补液装置，其特征是：它包括储液罐(1)、机械补液泵(2)、恒压罐(3)、上报警传感器(4)、上液位传感器(5)、下液位传感器(6)、下报警传感器(7)、电磁换向阀(8)、手动补液阀(9)、手动定标阀(10)、量杯(11)、清洗槽(12)和控制系统(13)，储液罐(1)设置于全自动硅片清洗机旁，储液罐(1)中存放待补充溶液，在储液罐(1)顶部开口，供操作人员向其中注入溶液，恒压罐(3)和储液罐(1)之间由耐酸碱的输液管(14)相连，机械补液泵(2)设置在恒压罐(3)和储液罐(1)之间，在恒压罐(3)的侧壁上从上到下依次设有上报警传感器(4)、上液位传感器(5)、下液位传感器(6)和下报警传感器(7)，在恒压罐(3)底部设有的补液管(15)经电磁换向阀(8)分出二条支路，一路经手动补液阀(9)通入清洗槽(12)，另一路经手动定标阀(10)通向量杯(11)，上报警传感器(4)、上液位传感器(5)、下液位传感器(6)和下报警传感器(7)都与控制系统(13)电连接，电磁换向阀(8)和机械补液泵(2)也与控制系统(13)电连接。