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一种「蓝宝石单晶长晶炉」，其主要包括有一真空炉体，该真空炉体内设有坩埚，坩埚外缘设有加热元件，加热元件外缘设有隔热装置，前述坩埚设有旋动件，旋动件连结外部旋动装置，坩埚上端设有拉起件，拉起件连结外部拉起装置及令拉起件旋转之旋动装置，拉起件下端置有籽晶，该真空炉体具有进气孔及排气孔，并分别连通外部气体供应装置及排气装置，真空炉体外部并具有中央控制装置，分别连结排气装置对炉内抽真空，连结气体供应装置提供炉内气氛气体，连结拉起装置及旋动装置以控制拉起件之拉升及旋转，连结加热元件电源令加热元件对坩埚加热，及连结旋动装置以控制坩埚之旋转，其改良在于：该真空炉体与隔热装置间设有冷却槽，冷却槽上端具有冷却液入口连通冷却液供给装置，冷却槽下端具有冷却液出口连通排液装置者。如申请专利范围第1项所述之「蓝宝石单晶长晶炉」，其中，该冷却槽间隔设有挡板。如申请专利范围第2项所述之「蓝宝石单晶长晶炉」，其中，该挡板为交错设置。如申请专利范围第1或第2项所述之「蓝宝石单晶长晶炉」，其中，该真空炉体内另设有温度感应装置，以感测真空炉体内部温度。如申请专利范围第4项所述之「蓝宝石单晶长晶炉」，其中，该温度感应装置为红外线温度计，并于真空炉体外部显示炉内温度。如申请专利范围第4项所述之「蓝宝石单晶长晶炉」，其中，该温度感应装置连结中央控制装置，以提供加热元件加热参数。如申请专利范围第1或第2项所述之「蓝宝石单晶长晶炉」，其中，该真空炉体上设有窥视窗。如申请专利范围第7项所述之「蓝宝石单晶长晶炉」，其中，该窥视窗连结设有远端显示装置，该远端显示装置连结中央控制装置，以于远端观看炉内状态。 |
