| 主权项 |
一种测试电性受测件(特别是晶圆)用的电性测试设备，其包含一测试机(探针器)，一用于造成与该受测件轻碰接触之接触装置系被插入/可插入该测试机，其特征为一中间定心设备(24)，该中间定心设备仅允许径向温度补偿游隙，该游隙供接触装置(3)与测试机(2)相对于彼此之中心对齐之用。如申请专利范围第1项之测试电性受测件用的电性测试设备，其中该中间定心设备(24)具有至少三个(较佳是四个)第一滑动导引件(25,26,27,34)，该等第一滑动导引件系以关于彼此成角度地偏置之方式配置。如申请专利范围第1或2项之测试电性受测件用的电性测试设备，其中该等第一滑动导引件(25,26,27,34)系第一突出部份/凹部导引件(28)。如申请专利范围第1或2项之测试电性受测件用的电性测试设备，其中该等第一滑动导引件(25,26,27,34)之每一个系藉着该接触装置(3)或该测试机(2)上的一突出部份(29)、及该测试机(2)或该接触装置(3)上的一凹部(30)所形成，该凹部以具有径向之游隙及以于该圆周方向中无游隙之方式承纳该突出部份(29)。如申请专利范围第1或2项之测试电性受测件用的电性测试设备，其中该接触装置(3)具有一设有接触元件及布线载体(10)之接触头(6)、特别是直立之接触头，其具有与该等接触元件之那些远离该受测件(39)的端部轻碰接触之接触区域，且设有一中间定心装置(47)，该中间定心装置(47)仅允许径向温度补偿游隙，该游隙供接触头(6)与布线载体(10)相对于彼此之中心对齐之用。如申请专利范围第1或2项之测试电性受测件用的电性测试设备，其中该接触头(6)之接触元件形成一接触栓销配置/接触针配置，并以栓销型/针型之方式具体化。如申请专利范围第1或2项之测试电性受测件用的电性测试设备，其中该中间定心装置(47)系配置在该接触栓销配置/接触针配置之外侧。如申请专利范围第1或2项之测试电性受测件用的电性测试设备，其中该中间定心装置(47)具有至少三个(特别是四个)第二滑动导引件(48)，该等第二滑动导引件系以关于彼此成角度地偏置之方式配置。如申请专利范围第1或2项之测试电性受测件用的电性测试设备，其中该等第二滑动导引件(48)系第二突出部份/凹部导引件。如申请专利范围第1或2项之测试电性受测件用的电性测试设备，其中该等第二滑动导引件(48)之每一个系藉着该接触头(6)或该布线载体(10)上的一突出部份(49)、及该布线载体(10)或该接触头(6)上的一凹部(53)所形成，该凹部以具有径向之游隙及以于该圆周方向中无游隙之方式承纳该突出部份(49)。如申请专利范围第1或2项之测试电性受测件用的电性测试设备，其中该接触装置(3)系一测试卡。如申请专利范围第1或2项之测试电性受测件用的电性测试设备，其中该测试卡系具体化为一直立之测试卡。如申请专利范围第1或2项之测试电性受测件用的电性测试设备，其中该接触头(6)被提供用于造成电性轻碰接触。如申请专利范围第1或2项之测试电性受测件用的电性测试设备，其中该接触头(6)具有具体化为针(特别是屈曲针(8))之测试接触件(7)。一种测试电性受测件(特别是晶圆)之方法，其较佳是藉着根据前述申请专利范围的一或多项之电性测试设备，使用一测试机(探针器)，一用于造成与该受测件轻碰接触之接触装置被插入/被插入该测试机，且施行一中间定心操作，该中间定心操作只允许径向温度补偿游隙，该游隙供接触装置与测试机相对于彼此之中心对齐之用。 |
