| 摘要 |
1. Сканирующий ближнепольный оптический микроскоп, содержащий зонд, с прикрепленным сенсором поверхности камертонного типа, систему позиционирования зонда над образцом вдоль оси z, контролируемую системой обратной связи, сканер, перемещающий образец вдоль осей х и у, светосильный зеркальный объектив, расположенный в дальней зоне, и передающий собранное излучение по многомодовому световоду в ФЭУ, электронный блок управления микроскопом, снабженный программой, отличающийся тем, что микроскоп размещен на вставке в криостат, работающий в диапазоне температур от 1.8 до 300 К, причем вставка находится непосредственно в парах криогенного газа (гелия или азота), криостат снабжен резистивным нагревателем, расположенным на теплообменнике и термопарой, один из спаев которой расположен в гелиевом резервуаре, а другой - непосредственно около образца. ! 2. Сканирующий ближнепольный оптический микроскоп по п.1, отличающийся тем, что система позиционирования зонда над образцом вдоль оси z состоит из пьезокерамического куба, направляющих и ползуна, выполненного с возможностью перемещения между направляющими, к верхней части ползуна присоединен держатель зонда. ! 3. Сканирующий ближнепольный оптический микроскоп по п.1, отличающийся тем, что сканер представляет собой полую пьезотрубку с электродами, сверху на трубку приклеена неподвижная сапфировая шайба, образец крепится на подвижную сапфировую шайбу, свободно лежащую на неподвижной. ! 4. Сканирующий ближнепольный оптический микроскоп по п.1, отличающийся тем, что светосильный зеркальный объектив и зонд расположены по одну сторону от образца. |
