| 主权项 |
一种用于制造超细矽颗粒之方法，其包含：(a)将固体矽粉末引入一具有轴向流向之电浆室中；(b)当该粉末流过该电浆室时借助于一电浆加热该粉末，产生一气态产物流；(c)使该气态产物流接触复数个经由复数个骤冷流注入孔注入该电浆室之骤冷流，其中该等骤冷流系以能使该气态产物流内之该等骤冷流之间互相冲击的流动速率及注入角注入，由此产生超细矽颗粒；(d)使该等超细矽颗粒顺该电浆室之轴向流向经过一在该电浆室之出口端内设置之收敛构件；及(e)收集该等超细矽颗粒，其中该超细矽颗粒具有不大于50奈米之平均初始粒径(average primary particle size)。如请求项1之方法，其中该等超细矽颗粒具有每公克90至500平方公尺的B.E.T.比表面积。一种用于制造超细矽颗粒之方法，其包含：(a)将固体矽粉末引入一具有轴向流向之电浆室中；(b)当该粉末流过该电浆室时借助于一电浆加热该粉末，产生一气态产物流；(c)使该气态产物流接触复数个经由复数个骤冷流注入孔注入该电浆室之骤冷流，其中该等骤冷流系以能使该气态产物流内之该等骤冷流之间互相冲击的流动速率及注入角注入，由此产生超细矽颗粒；(d)使该等超细矽颗粒顺该电浆室之轴向流向经过一设置在电浆室之收敛构件；及(e)收集该等超细矽颗粒，其中该超细矽颗粒具有不大于20奈米之平均初始粒径(average primary particle size)。如请求项1之方法，其中该固体矽粉末包含沉淀矽。如请求项4之方法，其中该沉淀矽为具有至少1微米之平均尺寸的集块的形式。如请求项1之方法，其中使该固体矽粉末在加热之前与载气接触。如请求项1之方法，其中该收敛构件包含一细腰喷嘴。如请求项1之方法，其中该复数个骤冷流注入孔包含至少四个骤冷流注入孔。如请求项1之方法，其中该复数个骤冷流注入孔沿该电浆室之圆周彼此相隔60°至90°设置。一种用于制造超细矽颗粒之方法，其包含：(a)将固体矽粉末引入一具有轴向流向之电浆室中；(b)当该粉末流过该电浆室时借助于一电浆加热该粉末，产生一气态产物流；(c)使该气态产物顺该电浆室之轴向流向流经过一在该电浆室设置之收敛构件，且接着(d)使该气态产物流接触经由复数个骤冷流注入孔注入该电浆室之复数个骤冷流，其中该等骤冷流系以能使该气态产物流内之该等骤冷流之间互相冲击的流动速率及注入角注入，由此产生超细矽颗粒，其具有不大于20奈米之平均初始粒径(average primary particle size)。 |
