发明名称 集成电路检测装置
摘要 本发明涉及一种集成电路检测装置。在基板上设有滑动平台和定位装置,滑动平台靠连接件安装有视觉检测装置,定位装置包含有夹持机构,其中心宽度可调,同时能实现升降,视觉检测装置、滑动平台、定位装置,各通过一驱动源驱动,驱动源带动视觉检测装置内的可动检测头、夹持机构产生运动。本发明通过线性扫描的检测头来配合夹持机构,能适应多种类型的集成电路,不仅提高了扫描分辨率,且整个过程一气呵成,除了可检测刻字字体的刻印质量外,还能检测集成电路灌胶面外部的瑕疵,避免不良品加入下道工序,造成产品易破裂、使冲模及传送结构受到损坏。
申请公布号 CN101165476B 申请公布日期 2011.07.13
申请号 CN200610096852.0 申请日期 2006.10.20
申请人 苏州均华精密机械有限公司 发明人 周文进;陈峰
分类号 G01N21/898(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;G01R31/26(2006.01)I 主分类号 G01N21/898(2006.01)I
代理机构 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 代理人 陈忠辉;姚姣阳
主权项 集成电路检测装置,包括有基板,其特征在于:基板上设有滑动平台、定位装置,滑动平台靠连接件安装有视觉检测装置,定位装置包含有夹持机构,其中心宽度可调,同时能实现升降;所述的视觉检测装置、滑动平台、定位装置,各通过一驱动源驱动,驱动源带动所述视觉检测装置内的可动检测头、所述夹持机构产生运动;所述的视觉检测装置包括有所述可动检测头与离子风机,所述可动检测头上有支撑块,所述支撑块上设有线性滑轨座,所述线性滑轨座连接两根线性滑轨;所述线性滑轨安装在滑动平台上,所述离子风机安装在滑动平台下端,所述可动检测头沿所述线性滑轨实行线性滑动。
地址 215101 江苏省苏州市吴中区木渎镇竹园路398号