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发明名称 Piezoaktuator med gradientindkapslingslag og fremgangsmåde til dens fremstilling
摘要
申请公布号 DK2013920(T3) 申请公布日期 2011.07.04
申请号 DK20070728446T 申请日期 2007.04.24
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 HENNIG, OLIVER;JENSEN, JENS, DAHL;BAYER, HEINER;FREUDENBERG, HELLMUT;GANSTER, AXEL;HAMANN, CHRISTOPH;LUGERT, GUENTER;MOCK, RANDOLF;SCHUH, CARSTEN
分类号 H01L41/04;C23C24/04;H01L41/22 主分类号 H01L41/04
代理机构 代理人
主权项
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