发明名称 Selective removal of impurities from semiconductor bodies
摘要
申请公布号 US3162557(A) 申请公布日期 1964.12.22
申请号 US19610158962 申请日期 1961.12.13
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 BROCK GEOFFREY E.;SILVEY GENE A.
分类号 C30B31/06;H01L21/00 主分类号 C30B31/06
代理机构 代理人
主权项
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