| 主权项 |
一种矽氧材料基材接合之方法，其步骤包含a)取二欲接合之矽氧材料基材，将其表面藉由与一质子酸接触活化；b)将前述矽氧材料基材表面之质子酸移除；c)将前述矽氧材料基材于一惰性溶剂中接合，并取至少一固定具将前述矽氧材料基材接合之区域紧密接触；d)于乾燥微温之环境中移除惰性溶剂使前述矽氧材料基材形成暂时接合；及e)将前述暂时接合之矽氧材料基材置于500~700℃的环境中待其形成永久接合。如申请专利范围第1项所述之方法，其中前述矽氧材料包含玻璃或石英。如申请专利范围第2项所述之方法，其中前述矽氧材料系为玻璃。如申请专利范围第1项所述之方法，其中前述质子酸包含硫酸、盐酸或硝酸。如申请专利范围第4项所述之方法，其中前述质子酸系为硫酸。如申请专利范围第1项所述之方法，其中前述步骤a)之前系可进一步包含一矽氧材料基材之表面清洁步骤。如申请专利范围第6项所述之方法，其中前述表面清洁步骤系以一清洗溶剂清洗，前述清洗溶剂包含十二烷基磺酸钠水溶液、水、酒精或其混合物。如申请专利范围第1项所述之方法，其中前述步骤c)之惰性溶剂系为水。 |
