发明名称 Ausgeglichene vertikale Andockbewegung bei einem angetriebenen vertikalen Prüfkopfmanipulator
摘要
申请公布号 DE60144498(D1) 申请公布日期 2011.06.01
申请号 DE20016044498 申请日期 2001.03.01
申请人 INTEST CORP. 发明人 HOLT, ALYN R.;MOORE, BRIAN R.;AKOUKA, HENRI M.
分类号 G01R1/073;G01R31/26;G01R31/28;G01R31/316;H01L21/66 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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