辐射敏感树脂组合物、叠层体及其制造方法、以及半导体器件

摘要

本发明涉及一种树脂组合物、在基板上叠层有由该树脂组合物形成的树脂膜的叠层体、以及包含该叠层体的半导体器件，其中，所述树脂组合物含有粘合剂树脂(A)、具有酸性基团的化合物(B)、有机溶剂(C)及化合物(D)，所述化合物(D)具有选自硅原子、钛原子、铝原子及锆原子中的1种原子、并具有键合在该原子上的烃氧基或羟基，具有酸性基团的化合物(B)为选自脂肪族化合物、芳香族化合物及杂环化合物中的至少1种，且相对于粘合剂树脂(A)100重量份，化合物(B)和化合物(D)的总含量为10～50重量份。

主权项

一种树脂组合物，其含有粘合剂树脂(A)、具有酸性基团的化合物(B)、有机溶剂(C)及化合物(D)，所述化合物(D)具有选自硅原子、钛原子、铝原子及锆原子中的1种原子，并具有键合在该原子上的烃氧基或羟基，其中，上述具有酸性基团的化合物(B)为选自脂肪族化合物、芳香族化合物及杂环化合物中的至少1种，相对于上述粘合剂树脂(A)100重量份，上述化合物(B)和上述化合物(D)的总含量为10～50重量份。