发明名称 Dispositif pour changement automatique de masques
摘要
申请公布号 FR1444794(A) 申请公布日期 1966.07.08
申请号 FR19650017750 申请日期 1965.05.20
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 MELNICK IGOR
分类号 C23C14/04;G03F7/20 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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