发明名称 可记录电存储器的制作
摘要 通过在基片上形成第一电极、在相对基片的第一位置上放置光掩模、以及基于光掩模上的图案在第一电极上形成第一材料层,制作一种存储元件的存储单元。在相对基片的第二位置上放置光掩模,并基于光掩模上的图案在第一材料层上方形成第二材料层,第二材料层与第一材料层有偏移,从而存储单元的第一子单元包括第一材料层,但不包括第二材料层,并且存储单元的第二子单元包括第一和第二材料层。第二电极是在第一和第二材料层上方形成。
申请公布号 CN101506942B 申请公布日期 2011.05.18
申请号 CN200780004481.1 申请日期 2007.10.22
申请人 香港应用科技研究院有限公司 发明人 徐文泰
分类号 H01L21/033(2006.01)I;H01L27/10(2006.01)I 主分类号 H01L21/033(2006.01)I
代理机构 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 代理人 江耀纯
主权项 一种可记录电存储器的制作方法,包括:制作一种存储设备的存储单元,包括在基片上形成第一电极;在相对基片的第一位置上放置光掩模;根据光掩模上的图案,在第一电极上形成第一材料层;在相对基板的第二位置上放置光掩模;根据光掩模上的图案,在第一材料层上方形成第二材料层,第二材料层与第一材料层有个偏移量,从而存储单元的第一子单元包括第一材料层,但不包括第二材料层,而存储单元的第二子单元包括第一和第二材料层;和在第一和第二材料层上方形成第二电极,并重叠第一电极。
地址 中国香港新界沙田香港科学园科技大道西二号生物资讯中心三楼