发明名称 |
可记录电存储器的制作 |
摘要 |
通过在基片上形成第一电极、在相对基片的第一位置上放置光掩模、以及基于光掩模上的图案在第一电极上形成第一材料层,制作一种存储元件的存储单元。在相对基片的第二位置上放置光掩模,并基于光掩模上的图案在第一材料层上方形成第二材料层,第二材料层与第一材料层有偏移,从而存储单元的第一子单元包括第一材料层,但不包括第二材料层,并且存储单元的第二子单元包括第一和第二材料层。第二电极是在第一和第二材料层上方形成。 |
申请公布号 |
CN101506942B |
申请公布日期 |
2011.05.18 |
申请号 |
CN200780004481.1 |
申请日期 |
2007.10.22 |
申请人 |
香港应用科技研究院有限公司 |
发明人 |
徐文泰 |
分类号 |
H01L21/033(2006.01)I;H01L27/10(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/033(2006.01)I |
代理机构 |
深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 |
代理人 |
江耀纯 |
主权项 |
一种可记录电存储器的制作方法,包括:制作一种存储设备的存储单元,包括在基片上形成第一电极;在相对基片的第一位置上放置光掩模;根据光掩模上的图案,在第一电极上形成第一材料层;在相对基板的第二位置上放置光掩模;根据光掩模上的图案,在第一材料层上方形成第二材料层,第二材料层与第一材料层有个偏移量,从而存储单元的第一子单元包括第一材料层,但不包括第二材料层,而存储单元的第二子单元包括第一和第二材料层;和在第一和第二材料层上方形成第二电极,并重叠第一电极。 |
地址 |
中国香港新界沙田香港科学园科技大道西二号生物资讯中心三楼 |