Es wird ein Drehratensensor mit einem Substrat, einem ersten Coriolis-Element und einem zweiten Coriolis-Element vorgeschlagen, wobei das erste Coriolis-Element mittels erster Anregungsmittel zu einer ersten Schwingung und das zweite Coriolis-Element mittels zweiter Anregungsmittel zu einer zweiten Schwingung anregbar sind und wobei das erste und das zweite Coriolis-Element mittels einer Federstruktur miteinander verbunden sind und wobei ferner die Federstruktur wenigstens eine Wippenstruktur umfasst, wobei die Wippenstruktur über wenigstens ein Federelement am Substrat verankert ist.
申请公布号
DE102009046506(A1)
申请公布日期
2011.05.12
申请号
DE20091046506
申请日期
2009.11.06
申请人
ROBERT BOSCH GMBH
发明人
OHMS, TORSTEN;KUHLMANN, BURKHARD;HEITZ, MARKUS;SATTLER, ROBERT;MEISEL, DANIEL CHRISTOPH;BALSLINK, THORSTEN