发明名称 |
等离子体处理装置及等离子体处理方法 |
摘要 |
提供含有在分支部分非垂直地延伸的同轴管的同轴管分配器。等离子体处理装置(10),通过微波激发气体来对被处理体进行等离子体处理,其具备:处理容器(100);输出微波的微波源(900);传输从微波源(900)输出的微波的传输线路(900a);被设置在处理容器(100)的内壁,用于将微波释放到处理容器内的多个介电体板(305);与多个介电体板(305)邻接,将微波向多个介电体板(305)传输的多个第1同轴管(610);将沿传输线路(900a)传输的微波分配传输给多个第1同轴管(610)的1段或者2段以上的同轴管分配器(700),同轴管分配器(700)包括具有输入部(In)的第2同轴管(620)和与第2同轴管连结的3根以上的第3同轴管(630),第3同轴管分别相对于第2同轴管(620)呈非垂直地延伸。 |
申请公布号 |
CN102057762A |
申请公布日期 |
2011.05.11 |
申请号 |
CN200980121686.7 |
申请日期 |
2009.06.03 |
申请人 |
东京毅力科创株式会社;国立大学法人东北大学 |
发明人 |
平山昌树;大见忠弘 |
分类号 |
H05H1/46(2006.01)I;C23C16/511(2006.01)I;H01L21/265(2006.01)I;H01L21/3065(2006.01)I |
主分类号 |
H05H1/46(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
李伟;舒艳君 |
主权项 |
一种等离子体处理装置,其通过电磁波激发气体来对被处理体进行等离子体处理,具备:处理容器;输出电磁波的电磁波源;传输已从上述电磁波源输出的电磁波的传输线路;多个介电体板,其被设置在上述处理容器的内壁,用于将电磁波释放到上述处理容器内;多个第1同轴管,其与上述多个介电体板邻接,向上述多个介电体板传输电磁波;以及1段或者2段以上的同轴管分配器,其将沿上述传输线路传输来的电磁波分配传输给上述多个第1同轴管,上述同轴管分配器中的至少一段包括具有输入部的第2同轴管和与上述第2同轴管连结的3根以上的第3同轴管,第3同轴管分别具有相对于上述第2同轴管呈非垂直地延伸的部分。 |
地址 |
日本东京都 |