发明名称 |
夹有金属纳米粒子层的薄膜叠层结构 |
摘要 |
本实用新型提供一种透明且具有低电阻率的夹有金属纳米粒子层的薄膜叠层结构。该薄膜叠层结构由在基板上成膜的ZnO薄膜层、在ZnO薄膜层上成膜的金属纳米粒子层以及在金属纳米粒子层上成膜的ZnO薄膜层构成,两个结晶的ZnO薄膜层夹持的金属纳米粒子层具有连接金属纳米粒子的金属纳米层构造,得到电阻率在8.0×10-4Ω·cm以下且可见光透过率在70%以上的薄膜叠层结构。本实用新型的薄膜叠层结构可用在透明导电膜、光伏电极、电磁波屏蔽材料等领域。 |
申请公布号 |
CN201816254U |
申请公布日期 |
2011.05.04 |
申请号 |
CN200920272240.1 |
申请日期 |
2009.11.20 |
申请人 |
村上理一;戚海雯 |
发明人 |
村上理一;戚海雯 |
分类号 |
B32B9/04(2006.01)I;B32B7/02(2006.01)I;H01B5/14(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I |
主分类号 |
B32B9/04(2006.01)I |
代理机构 |
上海新天专利代理有限公司 31213 |
代理人 |
胡红芳 |
主权项 |
一种薄膜叠层结构,其特征在于,在基板上依次叠放ZnO薄膜层、金属纳米粒子层、ZnO薄膜层,所述金属纳米粒子层由选自Ag、Al、Cu、Au、Ni、Pd、Pt、Zn、Cd中一个以上的金属粒子结晶生长后相互连接形成的纳米层构成。 |
地址 |
日本德岛县板野郡北岛町新喜来字二分1-40 |