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发明名称
摘要
申请公布号
JP4676156(B2)
申请公布日期
2011.04.27
申请号
JP20040103008
申请日期
2004.03.31
申请人
发明人
分类号
H01L21/28;H01L29/78;H01L21/336;H01L21/8234;H01L27/088;H01L27/10;H01L29/417;H01L29/423;H01L29/49
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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