一种晶片传递装置

摘要

本发明涉及半导体晶片加工过程中对晶片传递的技术，具体是一种晶片传递装置，它是实现对晶片传递的机械手装置，可解决传统的晶片传递装置传递效率低、传递速度慢等问题。该装置升降电机的输出端设有升降减速器，升降减速器的输出端设有传动带轮I，传动带轮I与丝杠上的传动带轮II通过带传动；旋转电机的输出端设有旋转减速器，旋转减速器的输出端设有传动带轮III，传动带轮III与丝杠上的传动带轮IV通过带传动；传动带轮IV的输出端与连接块相连，连接块上安装有伸缩装置，伸缩装置的输出端设置伸缩手臂，伸缩手臂的前端安装有手指。本发明通过升降、旋转、伸缩同时联动，单位时间内完成三个方向的运动，从而迅速、准确的将晶片传递到预期位置。

主权项

一种晶片传递装置，其特征在于：该装置设有升降电机、升降减速器、传动带轮、丝杠、旋转电机、旋转减速器、连接块、手指、伸缩手臂，升降电机的输出端设有升降减速器，升降减速器的输出端设有传动带轮I，传动带轮I与丝杠上的传动带轮II通过带传动；旋转电机的输出端设有旋转减速器，旋转减速器的输出端设有传动带轮III，传动带轮III与丝杠上的传动带轮IV通过带传动；传动带轮IV的输出端与连接块相连，连接块上安装有伸缩装置，伸缩装置的输出端设置伸缩手臂，伸缩手臂的前端安装有手指。