| 发明名称 | 电涡流传感器 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种电涡流传感器，所述电涡流传感器包括磁芯，所述磁芯的垂直于磁芯高度方向的截面为矩形截面；和线圈，所述线圈沿所述矩形截面的周向缠绕在所述磁芯的外周壁上。根据本发明实施例的电涡流传感器同时高灵敏度和高径向分辨率，其较大的探测区域可以包含更多的芯片图案和特征，这样就缩小了因芯片图案密度变化所带来的方差，从而使硅片膜厚度的测量更为精确。 | ||
| 申请公布号 | CN102022971A | 申请公布日期 | 2011.04.20 |
| 申请号 | CN201010598232.3 | 申请日期 | 2010.12.21 |
| 申请人 | 清华大学 | 发明人 | 路新春;沈攀 |
| 分类号 | G01B7/06(2006.01)I;G01B7/28(2006.01)I | 主分类号 | G01B7/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人 | 宋合成 |
| 主权项 | 一种电涡流传感器，其特征在于，包括：磁芯，所述磁芯的垂直于磁芯高度方向的截面为矩形截面；和线圈，所述线圈沿所述矩形截面的周向缠绕在所述磁芯的外周壁上。 | ||
| 地址 | 100084 北京市海淀区100084-82信箱 | ||