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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON FINFET-BAUELEMENTEN AUS BULK-HALBLEITER
摘要
申请公布号 DE60336237(D1) 申请公布日期 2011.04.14
申请号 DE20036036237 申请日期 2003.06.03
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 FRIED, DAVID M.;NOWAK, EDWARD J.;RAINEY, BETH ANN;SADANA, DEVENDRA K.
分类号 H01L21/336;H01L27/088;H01L21/265;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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