发明名称 Hetero-substrate, ?-nitride semiconductor devices using the same and manufacturing method of thereof
摘要
申请公布号 KR101028585(B1) 申请公布日期 2011.04.12
申请号 KR20090053115 申请日期 2009.06.15
申请人 发明人
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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