| 主权项 |
一种可调整倾角之形貌检测装置，其系包括：一支架；一形貌检测单元，用以取得待测物表面影像；一第一倾角调整装置，其系与该支架相连接，该第一倾角装置之一端系与该形貌检测单元相枢接，该第一倾角调整装置更系包括有一平移件，其一端系枢接于该形貌检测单元上；以及一固定座，系与该支架相连接，该固定座内部设置有一横向轨道，以提供该平移件于横向轨道做水平移动；以及一第二倾角调整装置，其系与该支架相连接且设置于该第一倾角调整装置之一侧，该第二倾角装置之一端系与该形貌检测单元相滑接，该第二倾角调整装置与该第一倾角调整装置系可产生相对运动以调整该形貌检测单元之倾斜角度，该第二倾角调整装置更系包括有一滑槽，其系连接于该形貌检测单元上；一平移件，其系以一端与该滑槽相滑接，一固定座，系与该支架相连接，该固定座内部设置有一横向轨道，以提供该平移件于横向轨道做水平移动。如申请专利范围第1项所述之可调整倾角之形貌检测装置，其中该形貌检测单元系为光学显微镜、探针扫描显微镜。如申请专利范围第1项所述之可调整倾角之形貌检测装置，其中该横向轨道可整合为线性滑轨、线性马达，以便精确控制该平移件位移尺寸。如申请专利范围第1项所述之可调整倾角之形貌检测装置，其中该横向轨道可整合为线性滑轨、线性马达，以便精确控制该平移件位移尺寸。如申请专利范围第1项所述之可调整倾角之形貌检测装置，其中该支架具有一转折结构且可进行一旋转运动以使该形貌检测单元对待测物进行360度检测。如申请专利范围第1项所述之可调整倾角之形貌检测装置，其中该待测物系为一具有微结构之待测物。如申请专利范围第6项所述之可调整倾角之形貌检测装置，其中该具有微结构之待测物，系可为应用于液晶显示器增亮膜之微结构或制造增亮膜的滚筒模仁。一种可调整倾角之形貌检测装置，其系包括：一支架；一形貌检测单元，用以取得待测物表面影像；以及一倾角调整装置，其系与该支架相连接，该倾角调整装置可以带动该形貌检测单元进行一弧线运动以调整该形貌检测单元之倾斜角度，该倾角调整装置更系包括有至少一圆弧轨道，固定在旋转支架之侧边，得以调整形貌检测单元之倾斜角度，并用以维持形貌检测单元倾斜时，物镜焦距保持在同一位置；至少一滑块，固定在形貌检测单元之侧边，用以带动形貌检测单元在圆弧轨道滑行。如申请专利范围第8项所述之可调整倾角之形貌检测装置，其中该形貌检测单元系为光学显微镜、探针扫描显微镜。如申请专利范围第8项所述之可调整倾角之形貌检测装置，其中该滑块系可为圆柱型滑块。如申请专利范围第8项所述之可调整倾角之形貌检测装置，其中该滑块系可为具有弧度之板型滑块。如申请专利范围第8项所述之可调整倾角之形貌检测装置，其中该待测物系为一具有微结构之待测物。如申请专利范围第12项所述之可调整倾角之形貌检测装置，其中该具有微结构之待测物系可为应用于液晶显示器增亮膜之微结构或制造增亮膜的滚筒模仁。如申请专利范围第8项所述之可调整倾角之形貌检测装置，其中该支架具有一转折结构且可进行一旋转运动以使该形貌检测单元对待测物进行360度检测。 |
