发明名称 PROCESS FOR THE MANUFACTURE OF ETCHED ITEMS
摘要
申请公布号 EP2304777(A1) 申请公布日期 2011.04.06
申请号 EP20090780571 申请日期 2009.07.14
申请人 SOLVAY FLUOR UND DERIVATE GMBH 发明人 RIVA, MARCELLO
分类号 H01L21/311 主分类号 H01L21/311
代理机构 代理人
主权项
地址
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