| 发明名称 | 失效检测方法以及失效检测装置 | ||
| 摘要 | 一种失效检测方法以及失效检测装置，用于检测两个待测导电体之间的桥接缺陷，所述方法包括：在两个待测导电体上各设置一个输出端，且所述两个输出端电势位相等；向任一所述待测导电体上沿预定路径排列的检测点依次输入恒定的检测电流；检测两个输出端的输出电流，基于各检测点的位置信息以及两个输出端的输出电流信息，建立输出端的输出电流与检测点位置之间的对应关系；据所述对应关系判定检测点是否存在缺陷。本发明能有效检测并定位半导体器件中的金属互连线之间的桥接缺陷，并提升缺陷定位的灵敏度和精度。 | ||
| 申请公布号 | CN102005400A | 申请公布日期 | 2011.04.06 |
| 申请号 | CN200910194791.5 | 申请日期 | 2009.08.28 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 龚斌;郭强 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;G01R31/02(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 李丽 |
| 主权项 | 一种失效检测方法，用于检测两个待测导电体之间的桥接缺陷，其特征在于，包括以下步骤：在两个待测导电体上各设置一个输出端，且所述两个输出端电势位相等；向任一所述待测导电体上沿预定路径排列的检测点依次输入恒定的检测电流；检测所述两个输出端的输出电流，基于各检测点的位置信息以及所述两个输出端的输出电流信息，建立输出端的输出结果与检测点位置之间的对应关系；根据所述对应关系判定检测点是否存在缺陷。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 | ||