用于在清洁模块中垂直转移半导体基材的方法及设备

摘要

本发明是提供一种基材处理器。于一实施例中，该基材处理器包括耦接于一轨道的一第一及第二载件。一具有两个抓持部的第一机器人则连接至该第一载件。一具有至少一抓持部的第二机器人则耦接至该第二载件。该第一载件可相对于第二载件独立地沿该导引件作定位。由于各载件具有独立的致动器，第一及第二机器人的移动便可分开以增加产量。基材处理器特别适用于具有集成基材清洁器的平坦化系统。

主权项

一种用于清洁基材的方法，其至少包含：沿第一移动轴将第一及第二机器人定位于数个清洁模块之上；自输入模块取得基材，并由该第一机器人将该基材置放于第一清洁模块中；自该第一清洁模块取得该基材，并由该第一机器人将该基材置放于该第二清洁模块中；自该第二清洁模块取得该基材，并由该第一机器人将该基材置于第三清洁模块中；自该第三清洁模块取得该基材，并由该第二机器人将该基材置于干燥器中；以及自该干燥器取得该基材，并由该第二机器人将该基材置于输出模块中。