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发明名称 ION SOURCE CLEANING METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20110031204(A) 申请公布日期 2011.03.24
申请号 KR20117001313 申请日期 2009.06.18
申请人 VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. 发明人 BILOIU COSTEL;CHANEY CRAIG R.;COBB ERIC R.;KOO, BON WOONG;PLATOW WILHELM P.
分类号 H01J37/317;H01L21/265 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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