| 发明名称 | 使复合衬底沿脆化面断裂的方法和装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及使复合衬底沿脆化面断裂的方法和装置，特别是涉及沿着两层之间所限定的脆化面使复合结构(100)断裂的方法，所述方法包括沿着脆化面在所述结构中产生断裂。在断裂过程中，将所述复合结构放置在舟腔室(120)中，并面向置于所述结构两侧且彼此平行排列的加固件(118)保持。 | ||
| 申请公布号 | CN101364534B | 申请公布日期 | 2011.03.16 |
| 申请号 | CN200810144915.4 | 申请日期 | 2008.08.07 |
| 申请人 | 硅绝缘体技术有限公司 | 发明人 | 大卫·勒格罗 |
| 分类号 | H01L21/20(2006.01)I;H01L21/762(2006.01)I;H01L21/84(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人 | 丁香兰;庞东成 |
| 主权项 | 一种使复合结构(100)沿两层之间所限定的脆化面断裂的方法，所述方法包括沿所述脆化面在所述结构中产生断裂，其特征在于在断裂过程中，使所述结构以与设置于所述结构的两侧并与所述结构隔开的加固件(118)相接触的方式而保持，其中将所述复合结构(100)放置在两个加固件(118)之间，在断裂过程中各加固件与所述结构之间的累积间隔不为0且小于500μm，所述加固件(118)的直径至少大于所述复合结构的直径的50％。 | ||
| 地址 | 法国克莱斯 | ||