用于集成电路的光学计量的波长选择方法

摘要

用于集成电路的光学计量中的特定波长可利用一个或多个选择准则和终止准则来选择。使用选择准则选择波长，波长的选择被迭代直到满足终止准则。

主权项

一种用于选择在具有一个标称轮廓的集成电路结构的光学计量过程中使用的波长的方法，该方法包括以下步骤：确定用于波长选择的终止准则；确定波长的选择准则；利用所述集成电路结构的一个或多个输入衍射光谱和所述选择准则来选择波长；并且执行所述选择波长的步骤直到满足所述终止准则，其中，所述终止准则包括：测试一个选择的波长的成本函数值是否小于或等于一个预定的成本函数值；或测试一个选择的波长的适合度值是否等于或大于一个预定的适合度值。