发明名称 | 高热稳定性和低电阻率C掺杂Cu薄膜的制备方法 | ||
摘要 | 一种高热稳定性和低电阻率C掺杂Cu薄膜的制备方法,属于新材料领域。该制备方法利用混合焓和原子尺寸作为添加元素判据,辅助以相图,选择C为掺杂元素;并以固溶体模型为理论依据,于Si基体上溅射Cu(4at%C)薄膜。薄膜制备工艺步骤是:基片清洗、设备抽取真空、溅射过程。其中溅射功率为340w,溅射时间为20min,氩气流量为220sccm,工作气压为0.6Pa,得到250nm厚的C掺杂Cu薄膜。由于Cu膜中元素C的适量加入,以及形成的自钝化非晶层,可以有效的阻挡Cu-Si之间的扩散,薄膜真空退火后可以得到低电阻率的Cu薄膜,C的加入提高了Cu膜的热稳定性能。 | ||
申请公布号 | CN101748373B | 申请公布日期 | 2011.03.16 |
申请号 | CN200910312326.7 | 申请日期 | 2009.12.26 |
申请人 | 大连理工大学 | 发明人 | 李晓娜;聂利飞;董闯 |
分类号 | C23C14/35(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I |
代理机构 | 大连星海专利事务所 21208 | 代理人 | 花向阳 |
主权项 | 一种高热稳定性和低电阻率C掺杂Cu薄膜的制备方法,它主要包括C元素掺杂的成分设计、Si基体样品清洗、设备抽真空和溅射过程;其特征在于:所述薄膜的制备应分步进行,工艺步骤是:第一步:利用混合焓和原子尺寸作为添加元素判据,辅助以相图,选择C为掺杂元素,以非晶合金中的团簇模型,确定C在Cu中的理想固溶度为4.2 at%;第二步,磁控溅射薄膜制备的Si基片清洗将(100)取向的单晶硅片先经过丙酮、酒精和去离子水超声波清洗,然后放入5%的HF中浸泡2~3分钟,采用N2吹干后放入真空室;第三步,磁控溅射设备抽取真空 样品放入真空室后,设备机械泵粗抽真空至5Pa以下,然后采用分子泵进行精抽真空,真空度抽至2×10‑3Pa;第四步,溅射过程 溅射所用靶材为C掺杂Cu复合靶材,其中C的含量为4.6 at %~8.8 at %,真空度达到2×10‑3Pa后,充入氩气至气压2Pa,调节到所需溅射功率为340w,让靶材起辉,然后调节氩气流量到220sccm,工作气压调至0.6Pa,其中靶基距为20cm,溅射时基片为室温,溅射时间为20min,溅射完毕后,设备冷却30min后,取出C掺杂Cu薄膜样品。 | ||
地址 | 116024 辽宁省大连市高新园区凌工路2号 |