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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS PRODUCING METHOD
摘要
申请公布号 EP1517364(B1) 申请公布日期 2011.03.16
申请号 EP20020738780 申请日期 2002.06.21
申请人 FUJITSU SEMICONDUCTOR LIMITED 发明人 CHIBA, SHUICHI;ISHIGURI, MASAHIKO;MURATA, KOICHI;WATANABE, EIJI;TAMAGAWA, MICHIAKI;SATOH, AKIRA;TOIDA, YASUSHI;MISAWA, KAZUHIRO
分类号 H01L21/60;H01L21/288;H01L23/00;H01L23/485;H01L23/544;H01L29/40;H01L29/78 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
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