滚珠传送单元及滚珠台

摘要

本发明的滚珠传送单元(12)具有：主体(13)，形成有以半球状凹陷的座面(13b)；多个小滚珠(14)，分别转动自如地与该主体(13)的座面(13b)抵接；1个大滚珠(15)，转动自如地与这些多个小滚珠(14)抵接；盖罩(16)，安装在主体(13)上，保持大滚珠(15)，并且将小滚珠(14)保持在大滚珠(15)与主体(13)的座面(13b)之间；至少主体(13)及大滚珠(15)由PAI、PBI、PCTFE、PEEK、PEI、PI、PPS、三聚氰胺树脂、芳香族聚酰胺树脂、氧化铝、氧化锆、氮化硅中的任一种形成。根据本发明，不会产生会给被输送物的表面带来损伤、或对被输送物本身造成缺陷、或者在后工序的清洗作业中也不能除去的那样的异物。

主权项

一种滚珠传送单元，用来对包括半导体薄片及平板显示器制造用基板玻璃的被输送物可沿其输送面向任意方向位移地进行支撑；其特征在于，具有：主体，形成有以半球状凹陷的座面，由PAI、PBI、PCTFE、PEEK、PEI、PI、PPS、三聚氰胺树脂、芳香族聚酰胺树脂中的任一种形成；多个小滚珠，分别转动自如地与该主体的上述座面抵接，由PAI、PBI、PCTFE、PEEK、PEI、PI、PPS、三聚氰胺树脂、芳香族聚酰胺树脂、氧化铝、氧化锆、氮化硅、不锈钢中的任一种形成；1个大滚珠，转动自如地与这些多个小滚珠抵接，由PAI、PBI、PCTFE、PEEK、PEI、PI、PPS、三聚氰胺树脂、芳香族聚酰胺树脂中的任一种形成；盖罩，安装在上述主体上，保持上述大滚珠，并且将上述小滚珠保持在上述大滚珠与上述主体的座面之间。