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发明名称
摘要
申请公布号	JP4642130(B2)	申请公布日期	2011.03.02
申请号	JP20090249663	申请日期	2009.10.30
申请人		发明人
分类号	H01L21/02;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/786	主分类号	H01L21/02
代理机构		代理人
主权项
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