发明名称 MEMS SWITCH AND FABRICATION METHOD
摘要
申请公布号 EP2286431(A1) 申请公布日期 2011.02.23
申请号 EP20090757951 申请日期 2009.05.29
申请人 NXP B.V. 发明人 STEENEKEN, PETER, GERARD;SUY, HILCO;GOOSSENS, MARTIJN;WUNNICKE, OLAF
分类号 H01H59/00 主分类号 H01H59/00
代理机构 代理人
主权项
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