发明名称 SILICON TETRAFLUORIDE BYPRODUCT SEPARATION PROCESS
摘要 Embodiments of the invention provide a system and process for recovering useful compounds from a byproduct composition produced in a silicon tetrafluoride production process.
申请公布号 US2011038778(A1) 申请公布日期 2011.02.17
申请号 US20090541261 申请日期 2009.08.14
申请人 REVANKAR VITHAL;LAHOTI SANJEEV 发明人 REVANKAR VITHAL;LAHOTI SANJEEV
分类号 C01B33/107;C01B17/48;C01D5/16 主分类号 C01B33/107
代理机构 代理人
主权项
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