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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR FORMING THIN FILM
摘要
申请公布号 KR101012295(B1) 申请公布日期 2011.02.08
申请号 KR20030064311 申请日期 2003.09.17
申请人 发明人
分类号 C23C16/505;H01L21/20;C23C16/44;C23C16/452;C23C16/455;C23C16/509;H01J37/32;H01L21/31;H01L21/316 主分类号 C23C16/505
代理机构 代理人
主权项
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