发明名称 MANUFACTURE OF FIELD-EFFECT TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH06252174(A) 申请公布日期 1994.09.09
申请号 JP19930035317 申请日期 1993.02.24
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 MATSUZAKI KENICHIRO
分类号 H01L29/812;H01L21/338;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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