| 发明名称 | 支撑装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型揭露了一种支撑装置，所述支撑装置包括支撑架以及设置于所述支撑架上的多个支撑脚，所述支撑脚的内侧面为多级台阶式。使用本实用新型所提供的支撑装置进行烘焙的过程中，氮气可以流入到挡板和面板底部，可缩短烘焙时间，从而提高了生产效率，并可节约生产成本。 | ||
| 申请公布号 | CN201729879U | 申请公布日期 | 2011.02.02 |
| 申请号 | CN201020180817.9 | 申请日期 | 2010.04.29 |
| 申请人 | 武汉新芯集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 台发林;李祥福;张希山;朱红霞 |
| 分类号 | C23C16/458(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/458(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种支撑装置，其特征在于，包括支撑架以及设置于所述支撑架上的多个支撑脚，所述支撑脚的内侧面为多级台阶式。 | ||
| 地址 | 430205 湖北省武汉市东湖技术开发区高新四路18号 | ||