| 发明名称 | 用于电解沉积铜的水性酸浴及方法 | ||
| 摘要 | 为了产生非常均一的铜沉积物，尤其是在盲微孔(BMV)及沟渠中，提供一种用于电解沉积铜的水性酸浴，该酸浴含有至少一种铜离子源、至少一种酸离子源、至少一种亮光剂化合物及至少一种调平剂化合物，其中该至少一种调平剂化合物选自合成制造的非功能化肽、合成制造的功能化氨基酸及合成制造的功能化肽。 | ||
| 申请公布号 | CN101960054A | 申请公布日期 | 2011.01.26 |
| 申请号 | CN200980106955.2 | 申请日期 | 2009.04.27 |
| 申请人 | 埃托特克德国有限公司 | 发明人 | H·布伦纳;B·罗尔福斯;D·罗德;T·普利特 |
| 分类号 | C25D3/38(2006.01)I;H05K3/24(2006.01)I;H05K3/42(2006.01)I;C25D5/18(2006.01)I | 主分类号 | C25D3/38(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 过晓东 |
| 主权项 | 一种用于电解沉积铜的水性酸浴，所述浴含有至少一种铜离子源、至少一种酸离子源、至少一种亮光剂化合物及至少一种调平剂化合物，其中至少一种调平剂化合物选自合成制造的非功能化肽、合成制造的功能化氨基酸及合成制造的功能化肽。 | ||
| 地址 | 德国柏林 | ||